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| ZEISS 系列半导体检查设备 |
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| 产品类型： |
| 产品编号： |
| 特殊说明： |
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仪器型号 |
主要性能特点 |
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Axiotron-2 光学显微镜 |
柔和性光学，高分辨率，光学最高1500X放大. B/D/DIC |
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CSM 共轭焦显微镜 |
0.18um分辨率，大景深 |
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UV-S |
紫外线/共轭焦显微镜 |
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CSM UV |
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Axiotron DUV 深紫外线显微镜 |
分辨率可到0.1 um |
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Axiospeed 膜厚仪 |
光罩膜厚测量 |
Axiosprint wafer inspection |
8’’晶片检查 (用于生产线上ADI，AEI) |
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Axiospect200 Defect Review Station |
8’’缺陷检查(用于生产线上) |
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Axiospect300 inspection and Review Station |
12’’晶片检查设备 |
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AIMS fab248 mask inspection |
用于光罩检查（模拟光刻机光学条件）、优化制程 |
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AIMS fab193 mask inspection |
光罩缺陷检查，90nm以下工艺 |
ZML 200 |
Wafer loader |
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Anti-vibration table |
防震桌 |
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Image software |
图像处理软件 | |
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