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ZEISS SUPRA 系统包括：第三代改进型GEMINI镜筒、新型样品台、智能硬件控制面版和新型高效率In-Lens二次电子探测器。Carl ZEISS SMT 纳米技术系统分部为市场引入最多样化的SUPRA系列场发射扫描电镜。具有超级影像质量的超高分辨率、易于改变的加速电压、优异的束流稳定性、全面的分析型样品室、操作方便的基于Windows XP的SmartSEM控制软件是这个系列的仪器的几个优异特点。对于研发应用、失效分析和质量保证，SUPRA系列场发射扫描电镜均可提供快速可靠且有重现性的结果。
SUPRA系列电镜提供全面的影像解决方案，包括半导体、材料分析、药物学和生命科学的应用要求。具有增强型VPSE探测器的专利VP技术使得非导体样品的超级影像和分析结果成为可能。GEMINI镜筒无与伦比的成像能力—特别是在1kV加速电压以下，使SUPRA成为所有纳米科学应用的影像工具。
l 整个加速电压范围内的高分辨率
l 电压范围低至0.1kV，最小的调节需要
l 高稳定性、大束流
l 高灵敏度、高效率In-Lens二次电子探测器
l 增强型VPSE探测器观察非电电样品 基于Windows XP的易于操作的SmartSEM控制软件
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