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| ZEISS CrossBeam 双束显微镜(FIB/SEM) |
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| 产品类型： ZEISS CrossBeam |
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| 特殊说明： |
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ZEISS CrossBeam 双束显微镜(FIB/SEM) |
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CrossBeam 1500XB |
Nvision40 |
Xvision300 |
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ZEISS CrossBeam 把具有无与伦比成像能力的GEMINI场发射镜筒和精密的CANION高性能聚焦粒子束(FIB)和SIINT的FIB分别组合成非常强大的系统。高级全对中样品台、精密紧凑的多通道气体入射系统使CrossBeam成为顶级的分析和检查工具。在FIB操作过程中的整个放大倍数范围内都有独特的时时成像能力，时时成像功能能够全面控制复杂样品的工作。
l CrossBeam操作：挖补和抛光过程中高分辨率时时影像
l GEMINI镜筒超高分辨率成像
l 高性能CANION 聚焦粒子束镜筒
l 极其精确的FIB
l 自动透射电镜样品制备软件包
l 增强型In-Column能量选择背散射探测器(EsB)用于元素对比成像
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CrossBeam 系列基本规格 |
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分辨率
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电子光学
1.1nm @ 20kV
2.5nm @ 1kV |
FIB
7nm @30kV |
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加速电压 |
0.1—30kV, 10V步进连续可调 |
3—30kV |
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放大倍数 |
12—900000倍 |
600—500000X |
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电子束束流 |
4pA—10nA |
1pA—50nA |
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灯丝 |
热场发射 |
液态镓离子源 |
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标准探测器 |
In-Lens二次电子探测器、背散射电子探测器、E-T二次电子探测器 |
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影像处理 |
7种积分和平均模式 |
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系统控制 |
基于Windows XP 的SmartSEM |
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应用领域 |
1500XB适用于材料分析和研究
Nvision40适用于半导体工厂的FA实验室（小样品）
Xvision300适用于12英寸半导体工厂的FA及在线检查 |
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